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KTD系列高真空油擴散泵
作者:蘭州真空時間:2022-08-02點擊:4876次
KTD系列高真空油擴散泵結(jié)構(gòu)為凸腔形,可獲得10-2~10-5高真空和超高真空,由于將水冷擋油帽與泵體組成一個整體提高了系統(tǒng)的有效抽速,節(jié)省了配置費用,具有抽速大,返油低,結(jié)構(gòu)簡單等特點。廣泛應用于電子、冶金、真空鍍膜、空間模擬等領(lǐng)域。
系列產(chǎn)品參數(shù)
型號項目 | K-500TD | K-800TD | K-1000TD | |
極限壓力 Pa | ≤5×10-5 | |||
抽氣速率 L/s | 單泵 | ≥10000 | ≥24000 | ≥38000 |
擋板 | ≥8000 | ≥20000 | ≥32000 | |
臨界前級壓力 Pa | ≥40 | |||
返油率 L/s | 單泵 | ≤5×10-3 | ||
擋板 | ≤5×10-4 | |||
加熱功率 kW | 6.9 | 15 | 24 | |
電源電壓 V | 380 | |||
冷卻水用量 L/h | 750 | 1200 | 1500 | |
泵油牌號 | KS-3或275#硅油 | |||
泵油用量 L | 4.4~5 | 10 | 16 | |
推薦前級泵抽速 L/s | 70 | 300 | 300 | |
外形尺寸 (L×W×H) | 1065×680×1285 | 1700×1000×1955 | 2020×1290×2325 | |
重量 kg | 85 | 170 |
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